辉光放电原理真空镀膜机在镀膜时会产生等离子体的辉光放电现象,怎样正确理解等离子体的辉光放电现象呢?

低压气体中显示辉光的气体放电(空气中的电子大概在1000对/cm3,由于高压放电现象在低气压状态下会产生辉光现象）现象,即是稀薄气体中的自激导电现象.在置有板状电极的玻璃管内充入低压（约几毫米汞柱）气体或蒸气,当两极间电压较高（约1000伏）时,稀薄气体中的残余正离子在电场中加速,有足够的动能轰击阴极,产生二次电子,经簇射过程产生更多的带电粒子,使气体导电.辉光放电的特征是电流强度较小（约几毫安）,温度不高,故电管内有特殊的亮区和暗区,呈现瑰丽的发光现象.
辉光放电时,在放电管两极电场的作用下,电子和正离子分别向阳极、阴极运动,并堆积在两极附近形成空间电荷区[1].因正离子的漂移速度远小于电子,故正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多,使得整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内.这是辉光放电的显著特征,而且在正常辉光放电时,两极间电压不随电流变化.
在阴极附近,二次电子发射产生的电子在较短距离内尚未得到足够的能使气体分子电离或激发的动能,所以紧接阴极的区域不发光.而在阴极辉区,电子已获得足够的能量碰撞气体分子,使之电离或激发发光.其余暗区和辉区的形成也主要取决于电子到达该区的动能以及气体的压强（电子与气体分子的非弹性碰撞会失去动能）.
辉光放电的主要应用是利用其发光效应（如霓虹灯、日光灯）以及正常辉光放电的稳压效应（如氖稳压管）.
低压气体放电的一种类型,在发射光谱分析中用作气体分析和难激发元素分析的激发光源.在玻璃管两端各接一平板电极,充入惰性气体,加数百伏直流电压,管内便产生辉光放电,其电流为10-4～10-2A.放电形式与气体性质、压力、放电管尺寸、电极材料、形状和距离有关.