在光刻工艺中的图形分辨率是什么意思

几西西2022-10-04 11:39:541条回答

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yaotianyue 共回答了19个问题 | 采纳率94.7%: 是光刻激光可刻蚀出来的图形最小距离.
小于这个距离,就不能清晰的得到你想要的图像.
其与光源波长及综合因子k1(基本是常数)正比,与镜头数值孔径的平方成反比.; 1年前

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前道工艺的英文怎么说比如说光刻相对于封装测试来说是前道工艺,这个前道工艺怎么说啊,英文. goricki1年前1: 美hh民电报共回答了17个问题 | 采纳率88.2%

Last process 或者 pre-process就可以,上一个步骤.

1年前查看全部

半导体光刻中的pitch是什么意思 major031年前1: yba33san 共回答了19个问题 | 采纳率84.2%

pitch=line+space
minmum line or space determines photo & etch's capability. Different pitch, photo characteristic is different, different pitch, etch bais is different.

1年前查看全部

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