真空镀膜机抽气慢我司使用的是肇庆市振华镀膜机,单扩散泵.现在的问题是抽气变慢,放进半炉多的产品,要求是2.0-2,竟然抽
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真空镀膜机抽气慢
我司使用的是肇庆市振华镀膜机,单扩散泵.现在的问题是抽气变慢,放进半炉多的产品,要求是2.0-2,竟然抽1一个多小时,之前还有过2小时多的!但换了产品满满一炉,抽到2.0-2要20分钟,比起别的炉子也多了5分钟左右,我已经用酒精做过漏气测试,没发现哪里漏气.不知道是什么问题,望高手解答!
我司使用的是肇庆市振华镀膜机,单扩散泵.现在的问题是抽气变慢,放进半炉多的产品,要求是2.0-2,竟然抽1一个多小时,之前还有过2小时多的!但换了产品满满一炉,抽到2.0-2要20分钟,比起别的炉子也多了5分钟左右,我已经用酒精做过漏气测试,没发现哪里漏气.不知道是什么问题,望高手解答!
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c2h2c2h2 共回答了22个问题
|采纳率86.4%- 从粗抽开始检查,如果抽的时间就长,那就是滑阀泵有问题,或是前面的管道有漏气,如果粗抽没问题就是扩散泵的事了,一般是清理泵腔换掉泵油,不过一般有时有些这样的问题都不是几句话可以讲清楚的,大家都知道如何检漏,可每次遇到的往往都是一点小事情,结果都花了很多的时间才能找到原因!祝你好运了!
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辉光放电时,在放电管两极电场的作用下,电子和正离子分别向阳极、阴极运动,并堆积在两极附近形成空间电荷区[1].因正离子的漂移速度远小于电子,故正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多,使得整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内.这是辉光放电的显著特征,而且在正常辉光放电时,两极间电压不随电流变化.
在阴极附近,二次电子发射产生的电子在较短距离内尚未得到足够的能使气体分子电离或激发的动能,所以紧接阴极的区域不发光.而在阴极辉区,电子已获得足够的能量碰撞气体分子,使之电离或激发发光.其余暗区和辉区的形成也主要取决于电子到达该区的动能以及气体的压强(电子与气体分子的非弹性碰撞会失去动能).
辉光放电的主要应用是利用其发光效应(如霓虹灯、日光灯)以及正常辉光放电的稳压效应(如氖稳压管).
低压气体放电的一种类型,在发射光谱分析中用作气体分析和难激发元素分析的激发光源.在玻璃管两端各接一平板电极,充入惰性气体,加数百伏直流电压,管内便产生辉光放电,其电流为10-4~10-2A.放电形式与气体性质、压力、放电管尺寸、电极材料、形状和距离有关.1年前查看全部
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