大家说下，北京智芯传感的MEMS传感器有哪些核心技术？

mems即微机电系统（英语：MicroelectromechanicalSystems，缩写为MEMS）也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。　　　　微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem）是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料，因此从制造技术本身来讲，MEMS中基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。

MEMS传感器即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems）。是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。实际应用MEMS传感器应用于无创胎心检测，检测胎儿心率是一项技术性很强的工作，由于胎儿心率很快，在每分钟l20～160次之间，用传统的听诊器甚至只有放大作用的超声多普勒仪，用人工计数很难测量准确。而具有数字显示功能的超声多普勒胎心监护仪，价格昂贵，仅为少数大医院使用，在中、小型医院及广大的农村地区无法普及。此外，超声振动波作用于胎儿，会对胎儿产生很大的不利作用。尽管检测剂量很低，也属于有损探测范畴，不适于经常性、重复性的检查及家庭使用。

　　MEMS一般指微机电系统x0dx0a　　微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。x0dx0a　　MEMS系统特点：x0dx0a　　1）微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。x0dx0a　　微机电系统x0dx0a　　2）以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。x0dx0a　　3）批量生产：用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本。x0dx0a　　4）集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。x0dx0a　　5）多学科交叉：MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。

全称:微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems)是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。

mems是微机电系统（micro-electro-mechanical systems）的英文缩写

微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。希望对你有帮助！

MEMS制造工艺（Microfabrication Process）是下至纳米尺度，上至毫米尺度微结构加工工艺的通称。广义上的MEMS制造工艺，方式十分丰富，几乎涉及了各种现代加工技术。起源于半导体和微电子工艺，以光刻、外延、薄膜淀积、氧化、扩散、注入、溅射、蒸镀、刻蚀、划片和封装等为基本工艺步骤来制造复杂三维形体的微加工技术。光刻：光刻是将制作在光刻掩模上的图形转移（Pattern Transfer）到衬底的表面上。无论加工何种微器件，微加工工艺都可以分解成薄膜淀积，光刻和刻蚀这三个工艺步骤的一个或者多个循环。光刻在MEMS制造过程中位于首要地位，其图形分辨率、套刻精度、光刻胶侧壁形貌、光刻胶缺陷和光刻胶抗刻蚀能力等性能都直接影响到后续工艺的成败。

MEMS是微机电系统的缩写。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业，就象近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样，MEMS也正在孕育一场深刻的技术变革并对人类社会产生新一轮的影响。目前MEMS市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。大多数工业观察家预测，未来5年MEMS器件的销售额将呈迅速增长之势，年平均增加率约为18%，因此对对机械电子工程、精密机械及仪器、半导体物理等学科的发展提供了极好的机遇和严峻的挑战。微机电系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是一种全新的必须同时考虑多种物理场混合作用的研发领域，相对于传统的机械，它们的尺寸更小，最大的不超过一个厘米，甚至仅仅为几个微米，其厚度就更加微小。采用以硅为主的材料，电气性能优良，硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度与铝类似，热传导率接近钼和钨。采用与集成电路（IC）类似的生成技术，可大量利用IC生产中的成熟技术、工艺 ，进行大批量、低成本生产，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。 完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，集成于大尺寸系统中，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。 沿着系统及产品小型化、智能化、集成化的发展方向，可以预见：MEMS会给人类社会带来另一次技术革命，它将对21世纪的科学技术、生产方式和人类生产质量产生深远影响，是关系到国家科技发展、国防安全和经济繁荣的一项关键技术。 制造商正在不断完善手持式装置，提供体积更小而功能更多的产品。但矛盾之处在于，随着技术的改进，价格往往也会出现飙升，所以这就导致一个问题：制造商不得不面对相互矛盾的要求——在让产品功能超群的同时降低其成本。 解决这一难题的方法之一是采用微机电系统，更流行的说法是MEMS，它使得制造商能将一件产品的所有功能集成到单个芯片上。MEMS对消费电子产品的终极影响不仅包括成本的降低、而且也包括在不牺牲性能的情况下实现尺寸和重量的减小。事实上，大多数消费类电子产品所用MEMS元件的性能比已经出现的同类技术大有提高。虽然MEMS过去只限于汽车、工业和医疗应用，但据调查公司估计：“MEMS消费类电子产品的销售额将在2005年前达到15亿美元”。 手持式设备制造商正在逐渐意识到MEMS的价值以及这种技术所带来的好处——大批量、低成本、小尺寸，而且开始转向成功的MEMS公司，其所实现的成本削减幅度之大，将影响整个消费类电子世界，而不仅是高端装置。

就是采用mems技术制造的压力传感器。mems是微机电系统（micro-electro-mechanicalsystems）的英文缩写。mems是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。mems是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前mems加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。

MEMS是微机械(微米/纳米级)与IC集成的微系统，即具有智能的微系统，MEMS基于硅微加工技术但不仅限于它。简单来说，MEMS就是对系统级芯片的进一步集成。我们几乎可以在单个芯片上集成任何东西，像运动装置、光学系统、发音系统、化学分析、无线系统及计算系统等，因此MEMS技术是一门多学科交叉的技术。MEMS器件价格低廉、性能优异、适用于多种应用，将成为影响未来生活的重要技术之一。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种 微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。 微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。对 微电子机械系统(MEMS)的研究主要包括理论基础研究、制造工艺研究及应用研究三类。理论研究主要是研究微尺寸效应、微磨擦、微构件的机械效应以及微机械、微传感器、微执行器等的设计原理和控制研究等；制造工艺研究包括微材料性能、微加工工艺技术、微器件的集成和装配以及微测量技术等；应用研究主要是将所研究的成果，如微型电机、微型阀、微型传感器以及各种专用微型机械投入实用。　　微电子机械系统（MEMS）的制造，是从专用集成电路（ASIC）技术发展过来的，如同ASIC技术那样，可以用微电子工艺技术的方法批量制造。但比ASIC制造更加复杂，这是由于 微电子机械系统（MEMS）的制造采用了诸如生物或者化学活化剂之类的特殊材料，是一种高水平的微米/纳米技术。微米制造技术包括对微米材料的加工和制造。它的制造工艺包括：光刻、刻蚀、淀积、外延生长、扩散、离子注入、测试、监测与封装。纳米制造技术和工艺，除了包括微米制造的一些技术（如离子束光刻等）与工艺外，还包括利用材料的本质特性而对材料进行分子和原子量级的加工与排列技术和工艺等。 微电子机械系统的制造方法包括LIGA工艺（光刻、电镀成形、铸塑）、声激光刻蚀、非平面电子束光刻、真空镀膜（溅射）、硅直接键合、电火花加工、金刚石微量切削加工。

Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统。现在手机的重力感应传感器，航模的角速度传感器都是这类传感器。

【答案】：从原理上讲，MEMS作为一种机电装置，其检测原理与一般机电系统没有本质的区别，不同之处在于对于一些MEMS(如微泵、微阀、微执行器等)，由于其输出量极小，因此对测试仪器的灵敏度、分辨率等要求更高。而对于像加速度微传感器、压力微传感器这样的微机电装置，其灵敏度、线性度、频响等参数的测试则可采用常规的测试仪器和测试方法。由于采用MEMS技术能够制造各种各样的微系统，其性能要求截然不同，因此对测试仪器和测试方法要求也不相同。在进行MEMS性能测试时，只能根据具体的MEMS和性能参数要求，选择合适的测试仪器和测试方法。

大方向有三类：RF MEMS;射频，比如relay，switch，可变电容，谐振器……BIO-MEMS;生物，比如微全分析系统。POWER MEMS.微能量采集，比如微马达。

当发生振动时，传感器处于连续的通、断状态。通过有针对性的缓冲结构设计和更优化的MEMS芯片布局，显著降低了MEMS型光滤波器在在线振动冲击试验中的频率漂移，通常使用在震动报警中，比如汽车防盗、自行车防盗、家庭物品移动报警等。凡是需要移动报警的场合都适用。根据滤波器的选频作用可分类：低通滤波器从0到f2频率之间，幅频特性平直，它可以使信号中低于f2的频率成分几乎不受衰减地通过，而高于f2的频率成分受到极大地衰减。高通滤波器与低通滤波相反，从频率f1到∞，其幅频特性平直。它使信号中高于f1的频率成分几乎不受衰减地通过，而低于f1的频率成分将受到极大地衰减。带通滤波器它的通频带在f1到f2之间。它使信号中高于f1而低于f2的频率成分可以不受衰减地通过，而其它成分受到衰减。带阻滤波器与带通滤波相反，阻带在频率f1到f2之间。它使信号中高于f1而低于f2的频率成分受到衰减，其余频率成分的信号几乎不受衰减地通过。

Micro-Electro-Mechanical Systems

有联系，PCB定义是：印制电路板，又称印刷电路板、印刷线路板，简称印制板，常使用英文缩写PCB（Printed circuit board）。而MEMS则是指：PCB封装技术在微电子机械系统(MEMS)中的器件。意思就是MEMS是指微电子机械系统(MEMS)。

MEMS是热敏式的流量传感器，其工作原理如下：

中国微纳技术俱乐部会长王懿在会上介绍，各类传感器功能性的全融合将成为传感器的研发方向，未来可穿戴产品终端前景的发展将取决于传感器等产业链上游技术的提升，MEMS创新应用将是可穿戴设备发展的源泉。 A股市场中涉及传感器业务的公司， 如汉威电子（300007）、苏州固锝（002079）、中航电测（300114）、通富微电（002156）、长电科技（600584）、华天科技（002185）、歌尔声学（002241）等

批量化（低成本），微型化

我只知道清华有

MEMS即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems），是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

一滩墨渍为2019年IEEE荣誉勋章获得者库尔特u2022彼得森开启了终生研究微型装置的大门。 1975年，库尔特u2022彼得森（Kurt Petersen）还是一名年轻聪明的研究员，当时他刚拿到麻省理工学院电气工程专业的博士学位，在位于美国加州的IBM阿尔玛登研究中心工作。他是该中心光学研究小组的一员。不过，他时常觉得很无聊，有一天，他漫步于巨大的建筑群中，然后发现了一条普普通通的走廊的油毡瓦上有一大块黑色污渍。就是这滩污渍改变了他的生活和整个行业。 为了找到污渍来源（他也是闲来无事），彼得森走进了最近的实验室。最后他发现，这块污渍是由溢出的墨水形成的。这是一家研发喷墨打印机喷嘴的实验室，研发过程中需要在硅材料上打孔。 在硅材料上打孔？彼得森从未听说过，但他想起了之前看过的一则有关硅基微型加速器的广告。突然间，一个更大的场景浮现在他的脑海中：人们实际上正在制造微型机械配件，各种部件只有几微米，都是用硅材料制成的。今天，我们将这类装置称为微机电系统（MEMS）。彼得森也想制造MEMS。 于是，他开启了全新的职业道路——专攻MEMS技术，包括现在用来扫描美国境内所有邮寄信件以防炭疽病菌的装置，并创建了MEMS企业。正是因为在这方面作出的贡献，彼得森在2019年获得了IEEE荣誉勋章。 发现那滩墨渍后不久， 彼得森开始阅读他能找到的所有有关使用硅材料制造微型机械装置的资料，包括各类期刊杂志，如《IEEE电子器件会刊》（IEEE Transactions on Electron Devices）、《应用物理学快报》（ App lied Physics Letters）和《电化学会会杂志》（Journal of the Electrochemical Society）。当时这类装置还没有具体的名称，市场上也只有几种MEMS产品。他发现“世界各地有很多人已经用硅制成了不同的机械装置，但是还没有形成相关群体。研究这类装置的大部分人相互之间并不了解。” 而后彼得森开始着手制造他的第一个装置。看着显微镜下的那些喷墨打印机喷嘴，他说道：“如果有缺陷，我一眼就可以看到。显微镜下有一些微小、独立且非常细的二氧化硅柱。我就想，这些微小的机械结构也许可以四处移动。它们也许能让光转向，我可以做一个调光器。”他的研发过程与今天MEMS的制造过程类似，首先在外延硅牺牲层上铺一层二氧化硅，然后将牺牲层蚀刻掉。最后只剩下二氧化硅悬臂，顶部是薄金属层。 他花了3个月时间制造出好几个微型调节器，每个调节器长约100微米，厚约0.5微米。他将这些调节器带到配有IBM扫描电子显微镜的实验室，那里的一位技术人员帮他安好了电线，然后他给这些装置接通了电源，观察它们的运转情况。 “她都着迷了。”彼得森回忆道，“她说从未见过在显微镜下运行的装置。” 后来，彼得森又花了5年时间，利用硅材料制造了尽可能多的各种微型机械装置，包括加速器和电子开关。他离开光学研究小组，进入了一家特别定制实验室，只能容纳他和一名实习生。 根据对文献的深入研究和自己所做的工作， 彼得森撰写了一份关于新兴技术的内部报告。“很多机械结构对IBM而言可能都有价值。”他说，比如光学和机械磁盘驱动器的读写头以及更复杂的喷墨打印机喷嘴，但是IBM并不感兴趣。 彼得森很失望，但他也意识到，这类装置不属于IBM的关键业务。于是他修改了报告，删除了IBM专有信息，并将其提交给了《IEEE会报》,足足占满了整个会报的50页版面。文章题为《作为机械材料的硅》（Silicon as a Mechanical Material），成为了1982年5月的封面文章，使MEMS确立为一个单独的技术分支。 这篇论文涉及的内容很全面，对集成电路材料的机械性能以及将这类材料蚀刻成相应形状和结构的各种方式都进行了论述。“文章对未来可能出现的事物进行了推断，例如深反应离子刻蚀（DRIE），这项技术为该领域带来了彻底变革。”他说，“即便是在今天，也有很多人对我说，正是那篇文章使他们对MEMS产生了浓厚兴趣。” “读研究生时我们就都读过这篇文章。”现任斯坦福国际研究院首席技术官的格雷格u2022科瓦奇（Greg Kovacs）说，该研究院位于美国加州门洛帕克。“他在MEMS领域发挥了巨大作用。他所完成的工作比开创这一领域更为重要，他推动了这一领域的发展。于我而言，他是一位超级英雄。” 《IEEE会报》论文一经发表，彼得森就被邀请到世界各地的 会议 上发言，而且研究员纷纷来阿尔玛登想一睹作者尊容。“进行各种疯狂研究的人都会以某种方式与我取得联系，比如微流体低温致冷器的研究人员。”他说。他似乎在一夜之间变成了MEMS技术掌门人。 这一领域在20世纪80年代一直稳步发展。彼得森的论文发表时，全球约有三四十个人在研究这项技术。到 1990 年，他估计研究这项技术的人约有600名。市场上出现了用于一次性血压监测仪和新型燃油控制化油器的压力传感器。航天工业中也开始采用基于MEMS的加速器。第一个微型机械喷墨打印机打印喷头进入量产。当时出现了很多 创业 公司，它们渴望与这项技术一起发展。彼得森说，1987年美国国家科学基金会研讨会对该领域进行了正式命名。 不出所料，有几家公司联系了彼得森。最后他接受了邀请，于1982年与吉姆u2022克纽蒂（Jim Knutti）联合创建了Transensory Devices公司，进行MEMS装置的研发与制造。 他回忆说，放弃企业内稳定的研究工作让他感觉“紧张不安”。他有两个年幼的儿子，因此经济保障很重要。约100万美元的 创业 资金最后来自外州的石油投资商，而非硅谷投资商。“当时硅谷也有一些 创业 公司，但完全不是今天这个样子。那时候筹资是件很困难的事情。”他说。 他们的团队后来搬到了加州费利蒙市一个280平方米的实验室，并建造了一些自己的设备，包括用于封装和保护硅晶圆的晶片键合设备。他们与大公司签订合同，为其生产样品，包括彼得森在IBM制作的那种调光器。同时，他们开始研发自己的MEMS装置。 “我们当时论证了很多装置，”彼得森说，“但是都没有投入生产。”有一次，用于卡车运输业的一种胎压传感器几近成功，但与他们合作的那位主管人员却去世了。彼得森认为，正是由于自己和克纽蒂都缺乏制造经验，他们的研究成果才没有能够实现商业化。 合同制生产使Transensory公司运转平稳，但是彼得森仍希望将自己的MEMS装置推向市场。他认为是时候成立第二家公司了。 在1985年，彼得森与詹科斯基u2022布瑞泽克（Janusz Bryzek）和约瑟夫u2022马龙（Joseph Mallon）一起创建了NovaSensor公司， 500万美元的启动资金来自油田服务巨头斯伦贝谢。布瑞泽克之前与人合办过两家研发MEMS压力传感器的公司。“詹科斯基和他的合伙人拥有生产和制造经验”，而这正是Transensory公司所缺少的，彼得森说。 NovaSensor成立后开始制造3种压力传感器：一种用于航空航天业，另有一种用于石油工业，还有一种是未针对特定市场的高温压力传感器。事实证明，最后一种取得了最大的成功，甚至航天飞机的轮胎中都采用了这种压力传感器。“我们发现了一种运用MEMS工艺将电阻器与基质隔离的方法。我们将单晶硅片粘合在带有压力传感器膜片的氧化硅片上，然后将上部硅片的大部分蚀刻掉，只保留电阻器。”彼得森说。他认为此款传感器是首款硅晶绝缘体设备，这种设备从那以后得到了普遍运用。 1991年，卢卡斯工业有限公司收购了NovaSensor，此举使彼得森跻身“MEMS百万富翁”之列。NovaSensor公司的生产线现在由安费诺公司销售。 随后的几年内，彼得森所持股权份额继续增加。其间，他专注于融熔接合，这一过程需要对两个不同模式的晶片进行蚀刻，然后将二者连接在一起。这一工艺可以制造非常复杂的装置，例如陀螺仪。他的名片上就一直印有采用该工艺制成的第一批设备的照片。 1995年彼得森离开NovaSensor时，MEMS压力传感器已在多种系统中得到了广泛应用，包括潜水设备和暖通控制系统，MEMS加速器则刚开始用于 汽车 安全气囊中的碰撞感知系统。 彼得森离开NovaSensor公司时未作任何安排。 劳伦斯u2022利弗莫尔国家实验室的一名研究员阿伦u2022诺思拉普（Allen Northrup）曾向他 建议 ，MEMS装置可 大大 加快聚合酶链式反应（PCR），PCR是一种相对较新的复制DNA序列的方法。 彼得森妻子的朋友、从事生物技术领域工作的比尔u2022麦克米伦（Bill McMillan）确认了PCR的发展前景。随后，彼得森开始着手拟定一项降低PCR机械体积和成本的计划，目标是制造出医生在办公室内就能使用的手持设备。 他和麦克米伦在帕洛阿尔托的白玉兰咖啡厅共进午餐。“我给他大概介绍了一下我的想法，他就开始在纸质餐垫上描绘商业计划。”彼得森说。他至今仍保存着那个餐垫。 彼得森1982年发表的论文中就暗示了深反应离子刻蚀的可能性，与传统的芯片生产流程相比，这一技术能够在硅材料中刻出更深的孔洞和凹槽。他开始将深反应离子刻蚀应用在微流体芯片中，将微量液体送入精确的通道内。 “我们当时有个想法，可以利用MEMS技术和微流体快速加热和冷却样品，以制成体积小但响应快的PCR设备，让医生可以在办公室内用它进行诊断。”彼得森说。 为实现技术的商业化，彼得森在1996年与他人共同创办了Cepheid公司，并从劳伦斯u2022利弗莫尔国家实验室获得了基础技术的许可。到1997年，该公司已从美国国防部筹得320万美元资金，国防部希望该公司能够研发出生物武器探测器。Cepheid公司研发的第一个设备叫Smart Cycler，它采用MEMS结构实现了几微升液体的快速加热和冷却，同时利用荧光传感器监测反应的进度。它不是手持设备，但这并不是问题。更重要的是，它使PCR过程实现了自动化。 Cepheid公司的第二个产品是GeneXpert，旨在进一步简化PCR。它可以自动从生物样本中提取DNA，然后添加测试所需的试剂。 该公司于2000年上市，当时正值 科技 泡沫破灭。在市场萎缩前，“我们是最后一批成功IPO的公司之一。”彼得森说。 通过公开发售股票，该公司获得了足够的资金，团队将Smart Cycler投入生产。2001年夏季接近尾声时，该公司已经完成80套设备的发货。在2001年12月第一台样机产生后，GeneXpert的研发工作仍在逐步推进。 后来美国发生了炭疽恐怖袭击事件。 2001年9月下旬和10月，携带炭疽孢子的信件被邮寄给了美国 新闻媒体 和美国参议院成员，最终导致20多人感染，5人丧生。 当时，Cepheid公司已经确定其技术能够快速检测炭疽细菌，于是一夜成名。“我们和桑贾伊u2022古普塔（ Sanjay Gupta）博士一起通过《早安美国》节目和美国有线电视新闻网进行了现场PCR试验。”彼得森回忆道。 美国邮政部门担心未来再出现信件携带的生物袭击，于是邀请所有掌握生物传感器技术的公司展示其产品。Cepheid公司的装置于2001年12月通过测试。“当时运行完美。，”彼得森说。 经过几个月的额外测试，该公司与诺斯罗普格鲁曼公司合作研发了PCR生物传感器，该传感器可以轻松地与邮件分拣机连接。这款产品于2003年推向市场，今天，美国的所有信件仍然要通过Cepheid机器进行炭疽筛查，彼得森说。现在，该公司的系统主要用于链球菌、诺瓦克病毒、流感、衣原体等相关的医疗诊断。该公司所销售的经美国食品药品监督管理局批准且适用于Cepheid机器的测试超过20项。 到了2003年，彼得森已经做好了开启事业新篇章的准备。 这次，他想开发硅质谐振器，这种设备能够产生恒定频率，可用于精确定时。“在IBM的时候我就制造了部分第一批MEMS谐振器，但不是很理想。它们无法与石英晶体振荡器媲美。”他说。 汤姆u2022肯尼（Tom Kenny）、马库斯u2022鲁茨（Markus Lutz）和亚伦u2022帕特里奇（Aaron Partridge）3位研究员提出了更好的方案。“他们采用单晶硅制造谐振器，这是世界上最完美的材料。”彼得森说，“多晶材料受到压力时会在晶界处产生微小的移位。随时间的推移，即便只有一两个原子产生位移，也会导致机械性能发生变化。”而单晶硅不会随时间发生改变，但是其谐振频率会随温度的变化而变化，因此，难点在于如何解决其温度依赖性的问题。 彼得森、肯尼、鲁茨、帕特里奇及乔u2022布朗（Joe Brown，彼得森在IBM的同事，曾与他在Transensory 和NovaSensor两家公司共事过）又一次在白玉兰咖啡厅共餐，再次在纸质餐垫上起草了一份商业计划。罗伯特u2022博世股份有限公司拥有部分核心知识产权，因此除了吸引投资者以外，彼得森还必须说服博世公司在德国的高管，以获得技术许可。 “在斯图加特，我与他们的董事会召开了一次大型 会议 。”他说，“我告诉他们，‘我做的事就是这些。我创办了公司，我们公司的设备负责全美国所有信件的炭疽筛查。"他们的董事会不仅同意了技术许可，还对我们公司进行了重大投资。” 新公司SiTime成立于2004年12月，目标是将定时行业所用的数十亿美元的材料从石英变为硅。该公司的首批谐振器于2007年交货。今天，该公司的MEMS振荡器被广泛用于移动设备及其他电子仪器的定时系统。 2008年，正当SiTime经营良好的时候，彼得森在Cepheid公司的合伙人之一麦克米伦向他提出了另一个 创业 想法：研发一种可植入式连续血糖监测仪。“人们已经为之努力了 30 年，但是没有人获得成功。”彼得森说。一旦传感器植入身体内部，“身体就会使用胶原将其隔离，最终阻止血糖接触传感器。”他解释说。 因此，麦克米伦与杜克大学的研究员纳塔利u2022维斯尼斯基（Natalie Wisniewski）合作，并提出了一种解决方案：使用结构化水凝胶来避免异物反应，并采用荧光读数的方式测量血糖浓度。彼得森利用之前所学的光学知识为该产品的开发提供了帮助，并在 创业 公司Profusa呆了一年。这家公司现在约有 30 名员工，资金总额为1亿美元。 彼得森说，经营这家公司将成为他的最后一份全职工作。“我只是不想继续处理公司的日常业务。我开始进行天使投资，这更有意思。” 他也无法抗拒再建一个团队的诱惑。伯克利分校的两名学生开发了MEMS谐振器相关技术，但是一直苦于无法实现该技术的商业化。彼得森和K.G. 加纳帕蒂（K.G. Ganapathi）加入了这两名学生的公司，之后，该公司改名为Verreon，彼得森担任公司的首席技术官，帮助协调该公司2010年针对高通的销售业务。 这是彼得森第三次担任首席技术官或类似职务。在他所有的 创业 公司中，他只在SiTime公司担任过首席执行官。“在NovaSensor公司时，其他两个人想做董事长。”该公司的营销顾问罗杰u2022格雷斯（Roger Grace）说，“库尔特并不在乎，他担任了首席技术官。他不是个自以为是的人。” “在MEMS领域，人们都对库尔特称赞有加，他非常和蔼、体贴、乐于助人。”格雷斯说，“聪明的人很多，但他是独一无二的，他很谦逊。与他相处，你会感到轻松自在。” 加纳帕蒂也很赞成：“像库尔特一样成功且深受大家喜爱的人很少见。” 目前，彼得森又回到了天使投资的大业中，他的投资目标是MEMS公司、医疗器械和生物技术领域。 他说他投资的公司约有70家，其中近一半都取得了成功，投资回报率为350%，这一纪录很出色，因为最近的一项研究表明，一般而言，投资范围较广的长期天使投资人的投资回报率是250%。 “他仿佛有种神秘的力量，能够察觉出有发展前景的产品。一种产品需要3年或15年才能取得成功，但是他在这方面有着敏锐的嗅觉。”加纳帕蒂说。 2012年，彼得森加入了硅谷天使投资帮，这是一家邀请制组织，约有200名投资人，他们会定期会面，了解和分享信息。现在，他是该组织硬件分部的负责人。同时，他还是两家公司的董事，并在其他几十家公司担任顾问。他每天会与数名前来咨询的人会面，并与加拿大及美国东部沿海地区的公司电话联系。 彼得森今年已经71岁，但他并没有要退休的意思。“企业家们富有活力、充满干劲并且雄心勃勃，与他们打交道是一件乐事。”他说。 半导体行业观察 『 半导体第一垂直媒体 』 华为｜台积电｜江北新区｜三星｜IC｜AI｜博世｜ARM 回复 投稿 ，看《如何成为“半导体行业观察”的一员 》 回复 搜索 ，还能轻松找到其他你感兴趣的文章！

MEMS是在Silicon上用半导体工艺制作三维结构，形成传感器；而微电子技术是在Silicon上制作大规模集成电路，是MOS管阵列。是平面二维的。所以联系就是：都是在硅基底制作的。都用的半导体工艺技术。明显区别就是：MEMS很多都是3D，而微电子技术是2D。MEMS目前停留在微米量级，而微电子技术已经到了纳米量级。以后纳米量级的MEMS不叫MEMS，叫NEMS。——————（我知道的，如果能帮到你，这就是我回答的意义。）

　　MEMS器件制造设备有：双面光刻机、等离子体深硅刻蚀机、化学腐蚀槽、硅片校准键合机、高温炉、激光修正仪、探针测试台等。MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。它是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。　　微机电系统MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是一种全新的必须同时考虑多种物理场混合作用的研发领域，相对于传统的机械，它们的尺寸更小，最大的不超过一个厘米，甚至仅仅为几个微米，其厚度就更加微小。采用以硅为主的材料，电气性能优良，硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度与铝类似，热传导率接近钼和钨。采用与集成电路（IC）类似的生成技术，可大量利用IC生产中的成熟技术、工艺，进行大批量、低成本生产，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。　　完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，集成于大尺寸系统中，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。　　沿着系统及产品小型化、智能化、集成化的发展方向，可以预见：MEMS会给人类社会带来另一次技术革命，它将对21世纪的科学技术、生产方式和人类生产质量产生深远影响，是关系到国家科技发展、国防安全和经济繁荣的一项关键技术。　　制造商正在不断完善手持式装置，提供体积更小而功能更多的产品。但矛盾之处在于，随着技术的改进，价格往往也会出现飙升，所以这就导致一个问题：制造商不得不面对相互矛盾的要求——在让产品功能超群的同时降低其成本。　　解决这一难题的方法之一是采用微机电系统，更流行的说法是MEMS，它使得制造商能将一件产品的所有功能集成到单个芯片上。MEMS对消费电子产品的终极影响不仅包括成本的降低、而且也包括在不牺牲性能的情况下实现尺寸和重量的减小。事实上，大多数消费类电子产品所用MEMS元件的性能比已经出现的同类技术大有提高。虽然MEMS过去只限于汽车、工业和医疗应用，但据调查公司估计：“MEMS消费类电子产品的销售额将在2005年前达到15亿美元”。　　手持式设备制造商正在逐渐意识到MEMS的价值以及这种技术所带来的好处——大批量、低成本、小尺寸，而且开始转向成功的MEMS公司，其所实现的成本削减幅度之大，将影响整个消费类电子世界，而不仅是高端装置。

中国微纳技术俱乐部会长王懿在会上介绍，各类传感器功能性的全融合将成为传感器的研发方向，未来可穿戴产品终端前景的发展将取决于传感器等产业链上游技术的提升，mems创新应用将是可穿戴设备发展的源泉。a股市场中涉及传感器业务的公司，如汉威电子（300007）、苏州固锝（002079）、中航电测（300114）、通富微电（002156）、长电科技（600584）、华天科技（002185）、歌尔声学（002241）等

东南大学微电子机械系统教育部重点实验室 南京理工大学MEMS惯性技术研究中心 军工的华中科技大学微系统研究中心 西北工业大学微纳米系统实验室 厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心 北京大学微电子研究院微机电系统研究所 清华大学微电子学研究所微纳器件与系统研究室 上海交通大学微纳科学技术研究院 更多信息请登录 MEMS资讯网 查看

MEMS传感器产业产业链全景梳理：MEMS传感器应用广泛从产业链环节来看，MEMS传感器产业的上游产业链包括原材料、芯片设计等。MEMS传感器材料分半导体材料、陶瓷材料、金属材料和有机材料四大类。下游应用与工业、汽车电子产品、通信电子产品、消费电子产品、专用设备等相关联。整体来看，MEMS传感器产业上下游所涉及的领域范围非常广泛。目前，我国MEMS传感器上游原材料企业包括：立昂微(605358)、沪硅产业(688126)、上机数控(603185)、宝钢股份(600019)等，国外企业包括巴西淡水河谷公司、澳大利亚必和必拓公司等。中游企业包括：士兰微(600460)、赛微电子(300456)、华润微(688396)、苏州固锝(002079)、韦尔股份(603501)、歌尔股份(002241)和共达电声(002655)等企业。下游应用领域包括：比亚迪(002594)、乐心医疗(300562)和小米集团(01810.HK)等。MEMS传感器产业产业链区域热力地图：广东生产企业分布最集中，长三角龙头集聚从我国MEMS传感器产业链企业区域分布来看，MEMS传感器产业产业链企业主要分布在广东地区，其次是在江苏、上海、浙江等地区;其余地方，如安徽、山东等省份虽然有企业分布，但是数量极少。从代表性企业分布情况来看，江苏、山东、北京等地代表性企业较多，MEMS传感器龙头企业歌尔股份(002241)就位于山东。同时湖北、广东等地也拥有较多代表性企业，如高德红外(002414)、万讯自控(300112)等。MEMS传感器产业代表性企业产销情况目前，布局了MEMS传感器业务的上市企业中，歌尔股份(002241)在MEMS传感器产销规模方面处于优势地位(虽披露口径为电子元器件，但鉴于公司主营MEMS传感器业务，故数据具有一定的参考性)。MEMS传感器产业产业链上的其它代表性企业产销情况如下：注：1)统计的企业为公布相关产销数据的上市企业，未公布具体产销数据的上市企业未纳入统计中;2)歌尔股份、士兰微的产销数据披露口径分别为电子元器件和集成电路产品。MEMS传感器产业代表性企业最新投资动向2021年以来，MEMS传感器产业代表性企业的投资动向主要包括收购公司拓展业务、通过对子公司增资的方式投资MEMS传感器生产基地项目。MEMS传感器产业代表性企业最新投资动向如下：—— 以上数据参考前瞻产业研究院《中国MEMS传感器行业市场需求与投资战略规划分析报告》

1、微机械压力传感器微机械压力传感器是最早开始研制的微机械产品，也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。从信号检测方式来看，微机械压力传感器分为压阻式和电容式两类，分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为基础制造。从敏感膜结构来看，有圆形、方形、矩形、E形等多种结构。压阻式压力传感器的精度可达0.05%～0.01%,年稳定性达0.1%/F.S,温度误差为0.0002%,耐压可达几百兆帕,过压保护范围可达传感器量程的20倍以上,并能进行大范围下的全温补偿。现阶段微机械压力传感器的主要发展方向有以下几个方面。(1)将敏感元件与信号处理、校准、补偿、微控制器等进行单片集成，研制智能化的压力传感器。　　(2)进一步提高压力传感器的灵敏度，实现低量程的微压传感器。　　(3)提高工作温度，研制高低温压力传感器。　　（4)开发谐振式压力传感器。2、微加速度传感器硅微加速度传感器是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。其主要类型有压阻式、电容式、力平衡式和谐振式。其中最具有吸引力的是力平衡加速度计，其典型产品是Kuehnel等人在1994年报道的AGXL50型。　　国内在微加速度传感器的研制方面也作了大量的工作，如西安电子科技大学研制的压阻式微加速度传感器和清华大学微电子所开发的谐振式微加速度传感器。后者采用电阻热激励、压阻电桥检测的方式，其敏感结构为高度对称的4角支撑质量块形式，在质量块4边与支撑框架之间制作了4个谐振梁用于信号检测。3、微机械陀螺角速度一般是用陀螺仪来进行测量的。传统的陀螺仪是利用高速转动的物体具有保持其角动量的特性来测量角速度的。这种陀螺仪的精度很高，但它的结构复杂，使用寿命短，成本高，一般仅用于导航方面，而难以在一般的运动控制系统中应用。实际上，如果不是受成本限制，角速度传感器可在诸如汽车牵引控制系统、摄象机的稳定系统、医用仪器、军事仪器、运动机械、计算机惯性鼠标、军事等领域有广泛的应用前景。常见的微机械角速度传感器有双平衡环结构，悬臂梁结构、音叉结构、振动环结构等。但是，实现的微机械陀螺的精度还不到10°/h，离惯性导航系统所需的0.1°/h相差尚远。4、微流量传感器　　微流量传感器不仅外形尺寸小，能达到很低的测量量级，而且死区容量小，响应时间短，适合于微流体的精密测量和控制。目前国内外研究的微流量传感器依据工作原理可分为热式（包括热传导式和热飞行时间式）、机械式和谐振式3种。清华大学精密仪器系设计的阀片式微流量传感器通过阀片将流量转换为梁表面弯曲应力，再由集成在阀片上的压敏电桥检测出流量信号。该传感器的芯片尺寸为3.5mm×3.5mm,在10ml～200ml/min的气体流量下,线性度优于5%。5、微气体传感器根据制作材料的不同，微气敏传感器分为硅基气敏传感器和硅微气敏传感器。其中前者以硅为衬底，敏感层为非硅材料，是当前微气敏传感器的主流。微气体传感器可满足人们对气敏传感器集成化、智能化、多功能化等要求。例如许多气敏传感器的敏感性能和工作温度密切相关，因而要同时制作加热元件和温度探测元件，以监测和控制温度。MEMS技术很容易将气敏元件和温度探测元件制作在一起，保证气体传感器优良性能的发挥。谐振式气敏传感器不需要对器件进行加热，且输出信号为频率量，是硅微气敏传感器发展的重要方向之一。北京大学微电子所提出的1种微结构气体传感器，由硅梁、激振元件、测振元件和气体敏感膜组成。硅梁被置于被测气体中后，表面的敏感膜吸附气体分子而使梁的质量增加，使梁的谐振频率减小。这样通过测量硅梁的谐振频率可得到气体的浓度值。对NO2气体浓度的检测实验表明，在0×10～1×10的范围内有较好的线性，浓度检测极限达到1×10，当工作频率是19kHz时，灵敏度是1.3Hz/10。德国的M.Maute等人在SiNx悬臂梁表面涂敷聚合物PDMS来检测己烷气体，得到－0.099Hz/10的灵敏度。6、微机械温度传感器微机械传感器与传统的传感器相比，具有体积小、重量轻的特点，其固有热容量仅为10J/K～10J/K，使其在温度测量方面具有传统温度传感器不可比拟的优势。我所开发了1种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异，不同温度下梁的挠度不同，其形变可通过位于梁根部的压敏电桥来检测。其非线性误差为0.9%，迟滞误差为0.45%，重复性误差为1.63%，精度为1.9%。7、其他微机械传感器利用微机械加工技术还可以实现其他多种传感器，例如瑞士Chalmers大学的PeterE等人设计的谐振式流体密度传感器，浙江大学研制的力平衡微机械真空传感器，中科院合肥智能所研制的振梁式微机械力敏传感器等。

mems工艺和半导体工艺的区别：1、MEMS加工技术工艺是根据产品需要，在各类衬底（硅衬底，玻璃衬底，石英衬底，蓝宝石衬底等等）制作微米级微型结构的加工工艺。而ic工艺则侧重于半导体器件的制作，其衬底基本以硅衬底为主，少数特殊器件会使用GaAs/GaN等材料，其工艺核心是为了制作高集成度的各类器件，目前已经做到纳米级，特征尺寸更加精细。MEMS加工技术工艺制作的微型结构主要是作为各类传感器和执行器等，其中更加器件原理需要而制作的可动结构（齿轮，悬臂梁，空腔，桥结构等）以及各种功能材料，本质上是将环境中的各种特征参数（温度，压力，气体，流量等等）变化通过微型结构转化为各种电信号（电压，电阻，电流等）的差异，以实现小型化高灵敏的传感器和执行器。2、半导体工艺指半导体制造工艺，工艺过程多晶硅到区熔或直拉到单晶硅棒到滚、切、磨、抛到硅片，硅片是一种硅材料通过加工切成一片一片的。硅是一种硬度很高的物质，硅材料看起来像石头一样，他要经过清洗干净然后用炉子加热融化形成一个大块的硅锭，然后再用特定机器来进行细切成一片一片。

光刻、CVD、PCVD、LIGGA等

MEMS器件很快在射频性能上超过固态电子器件，即使早期的MEMS器件在20GHz时的开态插入损耗也只有0.15dB，在相同频率下的一个典型GaAs-FET或PIN二极管的插入损耗接近1dB。在低于1GHz频率的应用情况中，固态电子开关仍然是首选。它们很便宜、低损耗、易于集成，应用广泛。固态电子开关在千兆赫兹以上时，损耗开始增加，并变得难于集成进开关。这时候MEMS开关的优势就变得明显起来。它们既没有固态电子开关快，可靠性也不高，但它们在电气性能上比固态电子开关更胜一筹。MEMS开关即使在40GHz时，插入损耗也很容易达到0.1dB。开关时间一般在几十微秒，循环次数达到几十亿次。近年来，处理功率达到几瓦的开关也已被报道。 比较参数 RF MEMS开关 PIN二极管 FET晶体管 电压(V) 20-80 　　3-5 电流(mA) 0 0-20 0 功耗(mW) <0.5 5-100 -0.5-0.1 开关时间 1-300微秒 1-100纳秒 1-100纳秒 串联电容(fF) 1-6 40-80 70-140 串联电阻(Ω) 0.5-2 2-4 4-6 10 N/A 开关频率(THz) 20-80 1-4 0.5-2 隔离度(1-10GHz) 非常高 高 中等 隔离度(10-40GHz) 非常高 中等 低 隔离度(60-100GHz) 高 中等 无 插入损耗(1-100GHz)(dB) 0.05-0.2 0.3-1.2 0.4-2.5 功率处理(W) <1 <10 <10 三阶交调截取(dBm) +66-80 +27-45 +27-45

MEMS的主要材料包括：半导体硅、锗、砷化镓、金属铌、以及石英晶体等。其中，尤以硅最为常见。为什么选择硅材料？主要是为了考虑与集成电路兼容。IC器件发展到今天，基于硅的加工制造技术相当成熟，所以采用硅材料制造MEMS装置，可以重复使用硅工艺的相关设备与实验参数，并能与集成电路很好的兼容，最大化降低制造成本。其中一个主要的原因是硅材料容易加工成各种形状，如可以使用KOH进行各项异性腐蚀加工MEMS结构，还可以使用ICP干法刻蚀成深宽比很高的立体结构，很难找到类似的材料。所以大多使用硅材料进行MEMS结构加工。

就是微机械陀螺仪，可用来测量角加速度等，主要用于航空方面。陀螺仪基本上就是运用物体高速旋转时，角动量很大，旋转轴会一直稳定指向一个方向的性质，所制造出来的定向仪器。不过它必需转得够快，或者惯量够大(也可以说是角动量要够大)。不然，只要一个很小的力矩，就会严重影响到它的稳定性。就像前面第四页的活动中，我们可以轻易的改变旋转中车轮转轴的方向一样。所以设置在飞机、飞弹中的陀螺仪是靠内部所提供的动力，使其保持高速转动。陀螺仪通常装置在除了要定出东西南北方向，还要能判断上方跟下方的交通工具或载具上，像是飞机、飞船、飞弹、人造卫星、潜艇......等等。它是航空、航海及太空导航系统中判断方位的主要依据。这是因为在高速旋转下，陀螺仪的转轴稳定的指向固定方向，将此方向与飞行器的轴心比对后，就可以精确得到飞机的正确方向。罗盘不能取代陀螺仪，因为罗盘只能确定平面的方向；另方面陀螺仪也比传统罗盘方便可靠，因为传统罗盘是利用地球磁场定向，所以会受到矿物分布干扰，例如受到飞机的机身或船身含铁物质的影响；另方面在两极也会因为地理北极跟地磁北极的不同而出现很大偏差，所以目前航空、航海都已经以陀螺仪以及卫星导航系统作为定向的主要仪器。可参考：http://baike.baidu.com/view/58048.htm

不会的。光纤陀螺是继激光陀螺巨大的进步，属于两光陀螺，利用Sagnac效应，用光程差反算角速度，相比激光陀螺，体积小，成本低，精度可达千分之一，而且没有活动部件，可靠性高，获得了广泛的应用。目前国内主要是北航和浙大两大派系，从业者约30多家，技术已经开放，大多数精度也就十分之一的样子，产业链已经向中西部转移，民工都可以干。但相比MEMS还是非常的贵，而且近千米的光纤绕成一坨，温度系数、可靠性、抗冲击、长储都有问题，而且MEMS目前的精度已经是10和开环光纤相当，并且已经向1进发，所以在一些低端和短时应用非常考验光纤从业者的粗大神经，而且MEMS小体积重量，低成本，芯片批量化，高可靠性等优势非常明显，但MEMS的精度10年内进入0.1有点困难，因此，在0.1到千分之一都可以是光纤的天下，短时间取代不了的。

　　MEMS一般指微机电系统　　微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。　　MEMS系统特点：　　1）微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。　　微机电系统　　2）以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。　　3）批量生产：用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本。　　4）集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。　　5）多学科交叉：MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。

　　MEMS MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微机电系统的缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统。　　MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。　　MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业，就象近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样，MEMS也正在孕育一场深刻的技术变革并对人类社会产生新一轮的影响。目前MEMS市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。大多数工业观察家预测，未来5年MEMS器件的销售额将呈迅速增长之势，年平均增加率约为18%，因此对对机械电子工程、精密机械及仪器、半导体物理等学科的发展提供了极好的机遇和严峻的挑战。　　MEMS是一种全新的必须同时考虑多种物理场混合作用的研发领域，相对于传统的机械，它们的尺寸更小，最大的不超过一个厘米，甚至仅仅为几个微米，其厚度就更加微小。采用以硅为主的材料，电气性能优良，硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度与铝类似，热传导率接近钼和钨。采用与集成电路（IC）类似的生成技术，可大量利用IC生产中的成熟技术、工艺 ，进行大批量、低成本生产，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。　　完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，集成于大尺寸系统中，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。　　沿着系统及产品小型化、智能化、集成化的发展方向，可以预见：MEMS会给人类社会带来另一次技术革命，它将对21世纪的科学技术、生产方式和人类生产质量产生深远影响，是关系到国家科技发展、国防安全和经济繁荣的一项关键技术。　　制造商正在不断完善手持式装置，提供体积更小而功能更多的产品。但矛盾之处在于，随着技术的改进，价格往往也会出现飙升，所以这就导致一个问题：制造商不得不面对相互矛盾的要求——在让产品功能超群的同时降低其成本。　　解决这一难题的方法之一是采用微机电系统，更流行的说法是MEMS，它使得制造商能将一件产品的所有功能集成到单个芯片上。MEMS对消费电子产品的终极影响不仅包括成本的降低、而且也包括在不牺牲性能的情况下实现尺寸和重量的减小。事实上，大多数消费类电子产品所用MEMS元件的性能比已经出现的同类技术大有提高。　　手持式设备制造商正在逐渐意识到MEMS的价值以及这种技术所带来的好处——大批量、低成本、小尺寸，而且开始转向成功的MEMS公司，其所实现的成本削减幅度之大，将影响整个消费类电子世界，而不仅是高端装置。 MEMS在整个20世纪90年代都由汽车工业主导；在过去几年中，由于iPhone和Wii的出现，使全世界的工程师都看到运动传感器带来的创新，使MEMS在消费电子产业出现爆炸式的增长，成为改变终端产品用户体验以及实现产品差异化的核心要素。　　国内MEMS芯片（Die）供应商主要有：上海微系统所、沈阳仪表所、电子部13研究所、北京微电子所等，目前形成生产的主要是MEMS压力传感器芯片（Die）。　　MEMS技术的发展历史　　MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的压敏电阻走线，这种变化可以把压力转换成电信号。后来的电路则包括电容感应移动质量加速计，用于触发汽车安全气囊和定位陀螺仪。　　第二轮商业化出现于20世纪90年代，主要围绕着PC和信息技术的兴起。TI公司根据静电驱动斜微镜阵列推出了投影仪，而热式喷墨打印头现在仍然大行其道。　　第三轮商业化可以说出现于世纪之交，微光学器件通过全光开关及相关器件而成为光纤通讯的补充。尽管该市场现在萧条，但微光学器件从长期看来将是MEMS一个增长强劲的领域。　　目前MEMS产业呈现的新趋势是产品应用的扩展，其开始向工业、医疗、测试仪器等新领域扩张。推动第四轮商业化的其它应用包括一些面向射频无源元件、在硅片上制作的音频、生物和神经元探针，以及所谓的"片上实验室"生化药品开发系统和微型药品输送系统的静态和移动器件。

MEMS传感器即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems）。是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。实际应用MEMS传感器应用于无创胎心检测，检测胎儿心率是一项技术性很强的工作，由于胎儿心率很快，在每分钟l20～160次之间，用传统的听诊器甚至只有放大作用的超声多普勒仪，用人工计数很难测量准确。而具有数字显示功能的超声多普勒胎心监护仪，价格昂贵，仅为少数大医院使用，在中、小型医院及广大的农村地区无法普及。此外，超声振动波作用于胎儿，会对胎儿产生很大的不利作用。尽管检测剂量很低，也属于有损探测范畴，不适于经常性、重复性的检查及家庭使用。

微机械陀螺仪。微机械MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的 21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。2。微机械陀螺仪（MEMS gyroscope）的工作原理 传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理，因此它主要是一个不停转动的物体，它的转轴指向不随承载它的支架的旋转而变化。

其特征尺寸一般在0.1μm～100μm范围。MEMS集成了当今科学技术的许多尖端成果，它将感知信息处理与执行机构相结合，改变了人类感知和控制外部世界的方式。从全球产业竞争格局来看，2018年中国MEMS传感器行业销售规模排名全球第一，占全球比重达23.82%，其次为美国(15.61%)、韩国(9.03%)和日本(8.01%)。此外德国(6.57%)、英国(3.29%)等少数经济发达国家也占据了重要份额，中东、非洲等地区所占份额相对较少。含义MEMS全称Micro Electromechanical System，微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器（执 行器）和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术，为智能系统、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器等以及它们的集成产品。

就是采用MEMS技术制造的压力传感器。MEMS是微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。

当发生振动时，传感器处于连续的通、断状态。通过有针对性的缓冲结构设计和更优化的MEMS芯片布局，显著降低了MEMS型光滤波器在在线振动冲击试验中的频率漂移，通常使用在震动报警中，比如汽车防盗、自行车防盗、家庭物品移动报警等。凡是需要移动报警的场合都适用。根据滤波器的选频作用可分类：低通滤波器从0到f2频率之间，幅频特性平直，它可以使信号中低于f2的频率成分几乎不受衰减地通过，而高于f2的频率成分受到极大地衰减。高通滤波器与低通滤波相反，从频率f1到∞，其幅频特性平直。它使信号中高于f1的频率成分几乎不受衰减地通过，而低于f1的频率成分将受到极大地衰减。带通滤波器它的通频带在f1到f2之间。它使信号中高于f1而低于f2的频率成分可以不受衰减地通过，而其它成分受到衰减。带阻滤波器与带通滤波相反，阻带在频率f1到f2之间。它使信号中高于f1而低于f2的频率成分受到衰减，其余频率成分的信号几乎不受衰减地通过。

MEMS传感器即微机电系统，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。扩展资料：1、MEMS气体流量传感器：高精度，检测流量范围广，适用于各种需求的流量计测。2、MEMS压力传感器：性能偏差小的MEMS压力传感器。3、MEMS非接触温度传感器：对静止人体也能检测，高灵敏度的人体感应传感器。4、MEMS开关：高频，小型，长寿命的MEMS开关。中国在MEMS传感器领域的研究较晚，但已经成为不可或缺的力量，中国的部分专利权的创新主体协同格局前提下，加大政府科技资金投入不但可以消解技术创新发展中的资金阻滞，又有助于引导企业或单位技术创新意识，从而提高我国创新驱动效率，促进经济快速而稳健的发展。参考资料：百度百科-MEMS传感器

现在常用的麦克风分两种：驻极体麦克风和MEMS麦克风驻极体优点：技术成熟 价格便宜；缺点：体积大,不方便SMT,需要手工焊接,焊接后又信号衰减MEMS优点：体积小 贴装方便 信噪比高 缺点：价格贵

可以在网上多关注下最新的科技技术。传感器（英文名称：transducer/sensor）是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。

【医】茶苯海明,茶苯醇胺,乘晕宁,捉迷明,苯海拉明氨茶碱[抗晕动病药]

ic即intergarted circuit,集成电路,统称.所以ic工艺即是制造集成电路的工艺,有很多种,比如最早的bipolar工艺、后来的nmos工艺、pmos工艺以及现阶段被广泛使用的cmos工艺（cmos工艺就是在一套制程种能同时生产两种mos,nmos和pmos）,另外还有集成了cmos和bipolar的bi－cmos工艺等等. 而mems即微机电系统,是一门新兴学科和领域,跟ic有很大的关联,当然mems工艺也和cmos工艺会有很大的相似之处,现在的发展方向应该是把二者集成到一套的工艺上来. 对mems不是特别的了）

中国的MEMS网站不多，我提供给你中国和国外的吧。中国：http://www.mems.ac.cn MEMS 微机电系统论文、MEMS技术、专家学者、MEMS招聘，MEMS最新进展等；国外：http://www.mcnc.org MCNC主页：提供MEMS的设计和制作业务；http://www.microsensors.com/mems.html 美国Microsensors公司主页http://www.mems-exchange.org 国际上关于MEMS交流影响很大的一个组织http://www-mtl.mit.edu MIT的MEMS实验室主页http://mems.me.berkeley.edu 伯克利学院MEMS主页

大哥，您给具体点啊，传感器很多很多很多，原理很多很多很多，

1.应用于医疗MEMS传感器应用于无创胎心检测，检测胎儿心率是一项技术性很强的工作，由于胎儿心率很快，在每分钟l20～160次之间，用传统的听诊器甚至只有放大作用的超声多普勒仪，用人工计数很难测量准确。而具有数字显示功能的超声多普勒胎心监护仪，价格昂贵，仅为少数大医院使用，在中、小型医院及广大的农村地区无法普及。此外，超声振动波作用于胎儿，会对胎儿产生很大的不利作用尽管检测剂量很低，也属于有损探测范畴，不适于经常性、重复性的检查及家庭使用。基于VTI公司的MEMS加速度传感器，提出一种无创胎心检测方法，研制出一种简单易学、直观准确的介于胎心听诊器和多普勒胎儿监护仪之间的临床诊断和孕妇自检的医疗辅助仪器。通过加速度传感器将胎儿心率转换成模拟电压信号，经前置放大用的仪器放大器实现差值放大。然后进行滤波等一系列中间信号处理，用A/D转换器将模拟电压信号转换成数字信号。通过光隔离器件输入到单片机进行分析处理，最后输出处理结果。基于MEMS加速度传感器设计的胎儿心率检测仪在适当改进后能够以此为终端，做一个远程胎心监护系统。医院端的中央信号采集分析监护主机给出自动分析结果，医生对该结果进行诊断，如果有问题及时通知孕妇到医院来。该技术有利于孕妇随时检查胎儿的状况，有利于胎儿和孕妇的健康。 2.应用在汽车电子MEMS压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。这种传感器用单晶硅作材料，以采用MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片，然后在膜片上扩散杂质形成四只应变电阻，再以惠斯顿电桥方式将应变电阻连接成电路，来获得高灵敏度。车用MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式、声表面波式等几种常见的形式。而MEMS加速度计的原理是基于牛顿的经典力学定律，通常由悬挂系统和检测质量组成，通过微硅质量块的偏移实现对加速度的检测，主要用于汽车安全气囊系统、防滑系统、汽车导航系统和防盗系统等，除了有电容式、压阻式以外，MEMS加速度计还有压电式、隧道电流型、谐振式和热电偶式等形式。其中，电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特点，是MEMS微加速度计中的主流产品。微陀螺仪是一种角速率传感器，主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统，主要有振动式、转子式等几种。应用最多的属于振动陀螺仪，它利用单晶硅或多晶硅的振动质量块在被基座带动旋转时产生的哥氏效应来感测角速度。例如汽车在转弯时，系统通过陀螺仪测量角速度来指示方向盘的转动是否到位，主动在内侧或者外侧车轮上加上适当的制动以防止汽车脱离车道，通常，它与低加速度计一起构成主动控制系统。 3.应用于运动追踪系统在运动员的日常训练中，MEMS传感器可以用来进行3D人体运动测量，对每一个动作进行记录，教练们对结果分析，反复比较，以便提高运动员的成绩。随着MEMS技术的进一步发展，MEMS传感器的价格也会随着降低，这在大众健身房中也可以广泛应用。　　在滑雪方面，3D运动追踪中的压力传感器、加速度传感器、陀螺仪以及GPS可以让使用者获得极精确的观察能力，除了可提供滑雪板的移动数据外，还可以记录使用者的位置和距离。在冲浪方面也是如此，安装在冲浪板上的3D运动追踪，可以记录海浪高度、速度、冲浪时间、浆板距离、水温以及消耗的热量等信息。4.应有在手机拍照领域在MEMS Drive出现之前，手机摄像头主要由音圈马达移动镜头组的方式实现防抖(简称镜头防抖技术)，受到很大的局限。而另一个在市场上较高端的防抖技术：多轴防抖，则是利用移动图像传感器(Image Sensor)补偿抖动，但由于这个技术体积庞大、耗电量超出手机载荷，一直无法在手机上应用。凭着微机电在体积和功耗上的突破，最新技术MEMS Drive类似一张贴在图像传感器背面的平面马达，带动图像传感器在三个旋转轴移动。MEMS Drive 的防抖技术是透过陀螺仪感知拍照过程中的瞬间抖动，依靠精密算法，计算出马达应做的移动幅度并做出快速补偿。这一系列动作都要在百分之一秒内做完，你得到的图像才不会因为抖动模糊掉。手机拍照带给我们随时随地的便捷，但是面对复杂的环境、多样的拍照场景，人手拍照有无法避免的抖动，像是走着跑着躺着拍照，或者把手伸长、手握自拍杆自拍，无论哪种抖动，凭借MEMS DRIVE马达独有的三轴防抖，和快速、精准控制的技术优势，都能呈现出更清晰更锐丽的图片。

当发生振动时，传感器处于连续的通、断状态。通过有针对性的缓冲结构设计和更优化的MEMS芯片布局，显著降低了MEMS型光滤波器在在线振动冲击试验中的频率漂移，通常使用在震动报警中，比如汽车防盗、自行车防盗、家庭物品移动报警等。凡是需要移动报警的场合都适用。根据滤波器的选频作用可分类：低通滤波器从0到f2频率之间，幅频特性平直，它可以使信号中低于f2的频率成分几乎不受衰减地通过，而高于f2的频率成分受到极大地衰减。高通滤波器与低通滤波相反，从频率f1到∞，其幅频特性平直。它使信号中高于f1的频率成分几乎不受衰减地通过，而低于f1的频率成分将受到极大地衰减。带通滤波器它的通频带在f1到f2之间。它使信号中高于f1而低于f2的频率成分可以不受衰减地通过，而其它成分受到衰减。带阻滤波器与带通滤波相反，阻带在频率f1到f2之间。它使信号中高于f1而低于f2的频率成分受到衰减，其余频率成分的信号几乎不受衰减地通过。